下载从还原尾气中回收氯化氢的系统的技术资料

文档序号:8142544

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本实用新型提出了从还原尾气中回收氯化氢的系统,包括:淋洗装置,淋洗装置中设置有淋洗液,用于将还原尾气进行淋洗处理,以便使得还原尾气中的氯硅烷被淋洗液吸收,得到含有氯硅烷的淋洗液,以及含有氢气和氯化氢的第一气体混合物;吸收装置,吸收装置中设置...
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