下载用于将IC晶粒或晶片接合到TSV晶片的双载体的技术资料

文档序号:8134024

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本发明涉及一种使用贯穿衬底通孔(TSV)晶片形成堆叠电子制品的方法,该方法包括使用具有第一脱粘温度的第一粘合材料(206)将第一载体晶片(205)安装到TSV晶片(202)的顶侧。TSV晶片从TSV晶片的底侧变薄,从而形成变薄的TSV晶片(...
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