下载激光退火方法、装置以及微透镜阵列的技术资料

文档序号:8134004

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本发明提供一种激光退火方法、装置以及微透镜,能够以不同于非晶硅膜中的晶体管形成预定区域的间距的较大间距来构成微透镜阵列,又能够以小于微透镜阵列的排列间距的间距来形成通过对非晶硅膜进行激光退火而产生的微小多晶硅膜区域。第1组(11)、第2组(...
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