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本发明提供方法和设备，该方法和设备采用从一个或更多个组分供给源蒸发的组分，以形成前体层的一个或更多个膜，该前体层形成在连续柔性工件的表面上。具有特别意义的是蒸汽淀积系统的实施，这些蒸汽淀积系统影响连续柔性工件的水平布置部分和连续柔性工件的竖...
该专利属于索罗能源公司所有，仅供学习研究参考，未经过索罗能源公司授权不得商用。

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