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本发明是一种负型感光性树脂组合物，该组合物含有：(A)羧酸当量为200g/mol以上1400g/mol以下的碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)多官能单体、(D)锆化合物。本发明可提供一种能进行碱显影的负型感光性树脂组合物，该组合物的图...
该专利属于东丽株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽株式会社授权不得商用。

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