下载光斑消减器及包括光斑消减器的投影单元的技术资料

文档序号:8133866

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本发明涉及一种光斑消减设备,该光斑消减设备包括光学元件(20、120),所述光学元件用于被待处理的相干光束穿过。所述设备还包括:能够造成所述光学元件(20、120)发热的装置(22、123);以及降温元件(26),所述降温元件与所述光学元件...
该专利属于德尔菲技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过德尔菲技术公司授权不得商用。

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