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一种纳米柱阵列化合物半导体器件的自组装制备方法，包括如下步骤：（1）在导电衬底表面预通入一层金属源反应物；（2）实施退火形成金属岛状颗粒；（3）通入III族和V族反应物，外延生长半导体纳米柱阵列；（4）使半导体纳米柱侧向生长加快，并在源物质...
该专利属于马鞍山圆融光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过马鞍山圆融光电科技有限公司授权不得商用。

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