下载一种制作硅晶磊晶层的方法及相关的晶硅基板结构的技术资料

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一种制作硅晶磊晶层的方法,利用一种已知的网板印刷技术,将一种金属浆料均匀的涂布在晶硅基板的至少一个全表面上,并以一种传送速度通过高温隧道窑,使得浆料与结晶硅以一种液相磊晶的过程,在晶硅基板上长出一层硅晶磊晶薄膜;调节金属浆料配方中的掺杂元素...
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