下载一种鼓泡分片设备的技术资料

文档序号:8131826

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本发明公开了一种鼓泡分片设备,包括不锈钢水箱、硅片承载框、加热装置、不锈钢管、通气管、水油分离器和硅片工件板,所述不锈钢水箱的内壁安装有加热装置,所述硅片承载框安装于不锈钢水箱内,不锈钢水箱的底部设有不锈钢管,不锈钢管上设有多个气眼,不锈钢...
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