下载用于功率半导体器件的改进的锯齿电场漂移区域结构的技术资料

文档序号:8131785

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本发明公开了一种形成在半导体衬底上的半导体功率器件。该半导体功率器件进一步包含在半导体衬底的漂移区域上的若干排传导形式相互交替的水平柱薄层,其每一个薄层的厚度确保当半导体功率器件导通时候可以击穿该薄层。在一个特定的实施方式中,该薄层的厚度满...
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