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本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构，包括反应腔、设置在反应腔内的载盘、支撑载盘的载盘支撑、设置在载盘下侧的加热体、在加热体下侧设置的热屏蔽层、接入吹扫气体的进气通路、以及排出吹扫气体的出气通路。加热体设置在热屏蔽层与载盘底...
该专利属于上海永胜半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海永胜半导体设备有限公司授权不得商用。

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