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本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成多晶硅片料，再将多...
该专利属于昆明冶研新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆明冶研新材料股份有限公司授权不得商用。

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