温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种激光直写加工的方法及装置,属于激光加工技术领域。该装置是由激光光源、反射镜组、前整形透镜组、液晶光阀、后整形透镜组、聚焦透镜、被加工材料、反射镜或者多面旋转反射镜构成的一个激光加工装置。所述的激光光源用来产生加工用的激光,加工...该专利属于中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司授权不得商用。