下载一种三层结构的掺钼TiO2光催化薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:8125892

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本发明属于光催化薄膜技术领域,具体为一种三层结构的掺钼TiO2光催化薄膜及其制备方法。三层结构中,底层为高浓度掺钼TiO2薄膜,中间为低浓度掺钼TiO2薄膜,顶层为纯TiO2薄膜;本发明利用多靶射频磁控共溅射技术原位制备三层结构的钼掺杂Ti...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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