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本实用新型提供了一种基于钛基三层金属膜的石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是镀银膜层(3)，所述镀银膜层(3)表面是镀金膜层(4)，形成一种基于钛基三层金...
该专利属于长沙理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长沙理工大学授权不得商用。

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