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本实用新型公开了一种液氩泵，包括转子及迷宫式密封件，所述迷宫式密封件设有参考气出口、密封气进口和混合气出口，所述参考气出口由密封件封堵而处于盲堵状态，与所述密封气进口连通的密封气管路上沿进气方向依次设有流量计和调节阀。该液氩泵可彻底消除混合...
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