温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及PECVD上料区防撞舟保护装置。目前，太阳能光伏领域PECVD上料设备的上料区域只有一个光电传感器，一旦光电传感器失效，就无法检查到推入设备中的小车上有无石墨舟，将会存在严重的安全隐患。本实用新型的PECVD上料区防撞舟保护装...
该专利属于上饶光电高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上饶光电高科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。