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投片传输装置制造方法及图纸
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文档序号:8116084
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本实用新型公开了一种投片传输装置,包括一机体、一运输模块、一第一进片模块、一第二进片模块及一吸附模块。运输模块固设于该机体。第一进片模块设置于运输模块一侧,第二进片模块设置于运输模块另一侧。吸附模块具有双吸附件,并左右来回于第一进片模块及第...
该专利属于立晔科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立晔科技股份有限公司授权不得商用。
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