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用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置制造方法及图纸
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下载用于激光系统的聚焦物镜的能移动的重量补偿悬架的装置的技术资料
文档序号:8109252
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一种用于激光系统(10)的聚焦物镜(12)的能移动的重量补偿悬架的装置,包括:力产生装置,该力产生装置用于产生抵消所述聚焦物镜(12)的重力的反作用力分量(G);传动装置,该传动装置将所述反作用力分量(G)传递到所述聚焦物镜(12)上并允许...
该专利属于威孚莱有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威孚莱有限公司授权不得商用。
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