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本发明提供了一种用于粒子束设备的高电压源装置。本发明涉及用于粒子束设备（11、12）的高电压源装置（100）和包含该类型的高电压源装置（100）的粒子束设备（11、12）。高电压源装置（100）具有用于输送高电压的至少一个高压电缆（101）...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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