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本发明涉及一种晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，其包括电荷放大单元、检波电路单元、低通滤波单元、PID控制单元、求和放大单元、正反向两路放大器。电荷放大单元通过探针卡与单支点电容式加速度计相连接。检波电路单元与电荷放大单元相连...该专利属于中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心授权不得商用。