下载单晶炉用自控式加热系统的技术资料

文档序号:8102979

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本发明公开了一种单晶炉用自控式加热系统,包括置于炉体内上石墨加热器、下石墨加热器,上石墨加热器、下石墨加热器分别连接有电源系统,上石墨加热器、下石墨加热器分别呈方波状,上石墨加热器、下石墨加热器的间距内设有梳状排布的导热板,相邻的导热板之间...
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