下载对具有微复制透镜阵列的幅材的精确控制的技术资料

文档序号:8081195

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本发明提供了一种感测系统,该感测系统提供高分辨率反馈以便进行幅材引导和张力控制。该系统尤其可用于被制造成具有微米尺寸级的微复制结构的幅材。微复制工位在幅材上形成微复制透镜的图案。感测系统照射幅材上的测量区并且检测从第一测量区内的微复制透镜集...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。

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