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本发明涉及一种多晶硅太阳能电池扩散方法，其特征在于该扩散方法的工艺步骤如下：进舟→升温→氧化→扩散→再分布→降温→出舟，其中扩散步骤先进行低温预沉积再进行高温扩散。本发明由于低温下磷源无法完成与硅片的反应，因此扩散第一步低温通源时只进行低温...
该专利属于江阴鑫辉太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴鑫辉太阳能有限公司授权不得商用。

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