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3T1R四自由度精密定位工作台制造技术
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文档序号:8078513
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本发明公开了一种3T1R四自由度精密定位工作台,包括动平台、柔性末端支撑架、四个柔性支链、底座和四个压电陶瓷驱动器;所述柔性末端支撑架呈“工”字形,位于四个所述柔性支链的顶端与所述动平台之间;所述动平台固定在所述刚性支撑上;四个所述柔性支链...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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