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一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法技术
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文档序号:8074855
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本发明公开了一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法,包括如下步骤:a)将硅粉与催化剂进行混合,得到混合物料,其中,所述催化剂为铜镍合金,所述铜镍合金中的镍的质量含量为10~35%;b)在氢气气氛下,使所述混合物料与四氯化硅在450~500℃的...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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