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平板式静电微执行器控制装置制造方法及图纸
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文档序号:8067738
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一种平板式静电微执行器控制装置,包括实时嵌入式控制器、D/A转换模块、放大器、微驱动器、平板式静电微执行器、传感器、读取电路,A/D转换模块;实时嵌入式控制器通过D/A转换模块与放大器的输入端相连,放大器的输出端连接到微驱动器的输入端,微驱...
该专利属于郭涛;王爱民;熊晶所有,仅供学习研究参考,未经过郭涛;王爱民;熊晶授权不得商用。
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