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本实用新型公开了一种用于硅片湿法腐蚀工艺的机械手，包括支架、第一、二驱动机构、第一、二驱动控制器、导轨杆、丝杆、连杆和挑梁，丝杆和导轨杆分别竖直间隔设置，且导轨杆的两端固设于支架上；丝杆下端固设于第一驱动机构上，且第一驱动控制器能够控制该第...
该专利属于昆山光微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山光微电子有限公司授权不得商用。

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