下载缓冲单元、基板处理设备及基板处理方法的技术资料

文档序号:8055187

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本发明提供了一种缓冲单元,所述缓冲单元包括:框架,所述框架包括底板、第一垂直板和第二垂直板,其中所述第一垂直板和所述第二垂直板在所述底板上相互隔离;第一缓冲器,在所述第一缓冲器上放置基板,所述第一缓冲器被允许在所述第一垂直板和所述第二垂直板...
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