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声音传感器与麦克风制造技术
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下载声音传感器与麦克风的技术资料
文档序号:8049582
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本发明提供了一个能够提高传感器信噪比而不妨碍缩小其尺寸的声音传感器。一隔膜(43)作为可移动电极板形成在硅质基板(42)的顶表面上。所述隔膜(43)是矩形,四个角和所述隔膜(43)长边的中部由固定体(46)所支撑。在连接长边中部处的固定体(...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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