下载不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器的技术资料

文档序号:8047485

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本发明不同定位方向的压电片轮流叠放的压电堆栈定位器,包括X定位压电片,Y定位压电片,其特征是所述X定位压电片和Y定位压电片交替叠放固定成堆栈结构,其中X定位压电片之间的连接为机械串联且电学并联,Y定位压电片之间的连接也为机械串联且电学并联。...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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