下载一种回收多晶硅副产物四氯化硅的方法的技术资料

文档序号:8044111

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本发明提供回收多晶硅副产物四氯化硅的方法,循环使用离子液,方便高效回收SiCl4(回收率:97%以上),消除多晶硅副产物四氯化硅所产生的危害,使四氯化硅资源化。在微波辐射条件下合成一系列1-烷基-3-甲基咪唑离子液体,利用离子液体对气体的吸...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。

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