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本实用新型揭示了一种波分复用器件及其在高速光器件中的应用，所述波分复用器件包括硅衬底，所述硅衬底上包覆有二氧化硅层，所述二氧化硅层上包覆有光栅层，所述光栅层上刻蚀有硅光子表面光栅。光器件是通过在表面光栅的上方设置光芯片，光芯片与器件之间设置...
该专利属于苏州海光芯创光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州海光芯创光电科技有限公司授权不得商用。

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