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一种光刻胶模板及图案化ZnO纳米棒阵列的制备方法技术
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下载一种光刻胶模板及图案化ZnO纳米棒阵列的制备方法的技术资料
文档序号:8021866
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本发明公开了一种三光束激光干涉制备光刻胶模板的方法以及利用此方法制备图案化ZnO纳米棒阵列的应用,借助三光束激光干涉图案化技术,单次曝光快速生成大面积六角排列圆形孔洞模板,利用该模板对ZnO纳米棒阵列进行限域水热生长,从而实现ZnO纳米棒在...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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