下载超低压气控伺服系统的技术资料

文档序号:8017237

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本发明涉及一种超低压气控伺服系统,包括朝工作对象内提供低压气流的气泵;伺服驱动装置;按预设P-T工艺曲线控制伺服电机运转的控制装置;反馈装置,所述反馈装置包括第一反馈装置和第二反馈装置;所述控制装置根据所述第一反馈装置的反馈信息,对所述伺服...
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