下载电子真空泵综合性能检测装置的技术资料

文档序号:8008918

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本实用新型公开了一种电子真空泵综合性能检测装置包括气室、可编程电源、电流计、气室温度调节装置、气室压力检测装置和数据采集/分析系统,所述可编程电源与电子真空泵的电源接入端口相连接,电流计与电子真空泵的电流检测端口相连接,气室与电子真空泵的抽...
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