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把半导体器件设计的光波数据分成多个区域(102)。只考虑每个区域的光波数据，对每个区域的光波数据执行第一波前工程。基于第一波前工程，规范化每个区域的光波数据(106)。至少基于规范化的每个区域的光波数据，对每个区域的光波数据执行第二波前工程...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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