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物理量传感器制造技术
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文档序号:7999011
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本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备:基材,其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34);对置部(20),其与基材在高度方向上对置且...
该专利属于阿尔卑斯电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过阿尔卑斯电气株式会社授权不得商用。
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