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一种原子力显微镜的进针方法，首先将压电陶瓷扫描器Z方向伸到最长位置，然后控制步进电机以50~100μm/s速度快速带动样品台上升，利用光电传感器检测从探针尖反射过来的光斑偏转信号来判断样品表面是否接触探针，当样品表面接触探针时，迅速将压电陶...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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