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本实用新型公开一种铁电隧道结室温红外探测器。其特征在于,器件结构自下而上依次为是衬底、金属底电极、铁电功能层和半透金属上电极。器件制备步骤是在柔性薄膜衬底表面蒸发或溅射金属作为底电极,然后在底电极表面运用LB法生长厚度1-6纳米PVDF基聚...该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。
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本实用新型公开一种铁电隧道结室温红外探测器。其特征在于,器件结构自下而上依次为是衬底、金属底电极、铁电功能层和半透金属上电极。器件制备步骤是在柔性薄膜衬底表面蒸发或溅射金属作为底电极,然后在底电极表面运用LB法生长厚度1-6纳米PVDF基聚...