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一种集成到集成电路（2000）中的电容性传声器换能器包括固定板（2006）以及形成在该集成电路的互连区域（2004）之中或之上的膜（2012）。一种形成包含电容性传声器换能器的集成电路的工艺包括：蚀刻穿过固定板（2006）到为背侧腔（201...
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