下载半导体模块的制造方法、半导体模块以及制造装置的技术资料

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在半导体模块(100)的制造方法中,通过绝缘树脂片材(40)将具有相互不同的热膨胀率的金属层(20)和冷却器(30)一体化,并且将半导体元件(10)经由焊料(15)载置在金属层(20)上的工件(1)移入回流炉(200)中。然后,在该状态下在...
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