下载感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法的技术资料

文档序号:7978339

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本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性干膜以及使用该感光性树脂组合物的图案形成方法,所述感光性树脂组合物包含:具有来源于含有酚性羟基和羧基的乙烯基系单体(b)的构成单元的乙烯基系共聚物(I)、醌二叠氮化合物(II)和式(5)所示的化合物(I...
该专利属于株式会社微处理;台湾永光化学工业股份有限公司;三菱丽阳株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社微处理;台湾永光化学工业股份有限公司;三菱丽阳株式会社授权不得商用。

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