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本发明涉及扫描显微镜形式的装置,用于显微镜的结构单元形式的装置以及用于光学扫描一个或多个样本的方法和装置。扫描显微镜形式的装置具有发射照明光束(32)的光源(42)。聚焦光学系统(24)将所述照明光束(32)聚焦到样本(36)的待检查区域上...该专利属于徕卡显微系统复合显微镜有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徕卡显微系统复合显微镜有限公司授权不得商用。
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