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本发明公开了一种薄膜制备装置和方法。所述薄膜制备装置，用于把粉料气化后沉积在衬底上生成薄膜，包括用于对所述粉料加热以形成原子和/或分子蒸气的气相形成装置、用于产生热电子并通过热电子使从气相形成装置输出的原子和/或分子蒸气中的原子或分子带弱电...该专利属于无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。