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一种调焦调平检测装置制造方法及图纸
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下载一种调焦调平检测装置的技术资料
文档序号:7953462
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一种对光源进行调节的调焦调平检测装置,在所述装置中光源发出的光由分光镜分为两束,一束由光强探测器进行光强检测,另一束经投影单元入射到硅片等材料上,由硅片反射后进入信号处理单元,由其进行光电转换、信号处理,主控制器根据光强探测器检测到的光源的...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。
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