下载曝光机对位修复系统及方法的技术资料

文档序号:7953460

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本发明涉及电子信息技术,具体涉及一种曝光机对位修复系统及方法。该系统包括上载物玻璃、下载物玻璃、图像获取装置、步进电机和处理装置;所述处理装置分别与所述步进电机和图像获取装置连接;所述步进电机还与所述上载物玻璃或下载物玻璃连接。该方法包括下...
该专利属于四川聚能核技术工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川聚能核技术工程有限公司授权不得商用。

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