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本发明公开一种用于光刻设备的粗动台的质心测校的方法，用于测试粗动台的质心相对形心的偏移量，包括：对所述粗动台的水平X、Y、Rz三自由度均闭环控制后变换为粗动台坐标系；预估所述X向及Y向质心所处范围并N等分，将所述等分点作为质心偏心量；利用所...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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