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本发明涉及用于在等离子体处理系统中向电极分配RF能量的等离子体处理系统和方法。该等离子体处理系统包括功率和接地母线、正相和负相初级电极母线，以及正相和负相次级电极母线。功率和接地母线被隔离变压器耦合到次级电极母线从而负相次级电极母线被提供有...
该专利属于诺信公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺信公司授权不得商用。

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