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本发明涉及一种平板式PECVD专用镀膜挂件。该挂件呈平板式框架结构，所述的框架结构为上面开口的矩形框，其两侧底部对称设置有V形挂钩。本发明的有益效果是，本发明的平板式PECVD专用镀膜挂件，采用V形挂钩，与现有的U形挂钩相比，一方面减小了挂...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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